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射頻等離子體增強滑軌式管式爐

發布時間： 2025-12-27 瀏覽次數：1360

射頻等離子體增強滑軌式管式爐系統是一套集精密機械定位、射頻等離子體激發與動態氣氛控制于一體的先進材料制備平臺。該系統通過手動滑軌移動式高溫爐體、射頻電源與集成高精度氣柜的協同設計，實現了樣品快速裝卸、局部加熱、等離子體輔助反應及工藝氣氛的精準調控，特別適用于需要快速熱循環、氣氛敏感或表面活化的先進材料合成與處理工藝。

產品詳情

應用領域

產品視頻

應用案例

	主要技術特點與優勢： 1. 手動滑軌移動式高溫管式爐 · 爐體安裝在精密直線滑軌上，可實現平滑手動推移，使反應腔體（剛玉或石英管）快速脫離或覆蓋樣品區域，便于快速裝樣、取樣及反應區定位。 · 最高工作溫度可達1200℃，溫控精度達±0.5%，支持多段程序升降溫。 · 爐體結構緊湊，隔熱設計高效，確保滑軌移動時穩定可靠，并能適應臥式安裝方式。 2. 射頻等離子體激發系統 · 配備13.56 MHz工業標準射頻電源，具備自動阻抗匹配功能，確保等離子體激發高效穩定。 3. 質量流量控制氣柜 · 集成多通道質量流量控制器（MFC），氣體控制精度達±1% FS，支持惰性、還原性、腐蝕性等多路氣體動態混合與切換。三種可切換工藝模式： 1. 純熱工模式：僅使用管式爐進行常規燒結、退火或化學氣相沉積（CVD）。 2. 等離子體輔助模式：開啟射頻激發，實現等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）、材料表面活化或低溫合成。 3. 快速熱循環模式：通過滑軌移動爐體，實現樣品快速進入/離開高溫區，適用于淬火、分段反應等動態工藝。技術優勢 · 操作靈活高效：滑軌設計極大簡化樣品裝卸流程，避免整體爐體移動帶來的熱場擾動，提升實驗重復性。 · 能場協同精準：熱場與射頻等離子體場可獨立或疊加使用，顯著拓寬工藝窗口，實現材料微觀結構精確調控。
設備名稱	滑軌爐
規格型號	NBD-CMT1200-TSL-50
供電電源	220V 50HZ
額定功率	2.5KW
加熱元件	合金電阻絲
溫區數量	單溫單控
溫區尺寸	Φ150*200mm
控溫精度	±1℃
傳感器類型	N 型熱電偶φ1*250mm
Tmax	1200℃
額定溫度	1100℃
推薦升溫速率	≤10℃/min
爐管規格	石英管φ50*1500mm
進氣口	Φ6.35mm雙卡套
出氣口	Φ8.4mm寶塔
抽真空口	KF16
真空泵	DRV5 KF16接口
爐體尺寸	長1120高520深520mm
重量	約40KG
不同氣體下反應
	等離子射頻模塊PE-500W
設備特點	此設備功率可以預設，實現一鍵啟動,自動匹配，而且匹配后功率穩定。
基本參數	輸入電壓:AC220V，50/60HZ 輸出功率:0-500W、連續可調，功率穩定度：≤2W 最大反射功率：200W 匹配：自動匹配，空氣電容直流電源工作氣壓范圍:0-100Pa 冷卻:強制風冷線圈直徑:Φ110*180mm
尺寸	長760高455深575mm
保護功能	DC過流保護，功放過溫保護，反射功率保護
重量	約35KG
保質期	一年質保期，終身維護
VERG-	300	500		600
信號頻率	13.56MHz±0.005%
功率輸出范圍:W	1-300	1-500		1-600
最大反射功率:W	120	200		200
射頻輸出接口:50 Ω	N-type,female
功率穩定度	≤2W
諧波分量: ≤dBc	-50
供電電壓:50/60Hz	單相交流（187V-253V）
整機效率:≥%	70 70
冷卻方式	強制風冷
整機重量:kg	16±0.5
整機尺寸:HWD(mm)	88x483x450
控制系統			1、燒結工藝曲線設置：動態顯示設置曲線，設備燒結可預存多條工藝曲線，每條工藝曲線可自由設置； 2、可預約燒結，實現無人值守燒結工藝曲線燒結； 3、實時顯示燒結功率電壓等信息并記錄燒結數據，并可導出實現無紙記錄； 4、具有實現遠程操控，實時觀測設備狀態； 5、溫度校正：主控溫度和試樣溫度的差值，燒結全程進行非線性修正。
預約燒結			優化設備利用率、保障燒結工藝穩定性、節省等待時間，實現高效有序的樣品制備
非線性溫度修正			通過算法非線性修正控溫點與樣品由于在溫場中位置不同而產生的溫度偏差，提升控制溫度與樣品溫度的一致性、簡化操作，提升實驗數據準確。
數據存儲			保障數據安全完整、規范化管理與高效檢索
遠程操控			可通過電腦、手機等終端，隨時隨地登錄控制系統查看加熱爐運行狀態（溫度、壓力、升溫速率等），并根據實驗需求遠程調整參數、啟動 / 暫停程序。夜間或節假日無需往返實驗室，即可應對實驗過程中的參數微調需求；跨地域出差時也能實時監控關鍵實驗進程，大幅減少無效通勤時間，讓科研人員更高效地分配工作精力。
可預設多組工藝程序			可預設多類實驗專屬溫度程序、保障實驗重復性與操作便捷性，支持工藝優化與數據追溯，適配團隊協作與技術傳承，大幅提升實驗效率與設計靈活性。
加熱元件			合金電阻絲
溫度精度	±1℃
設備使用注意事項	1.射頻匹配器一般處于自動匹配狀態，一般功率需達到50W以上才能匹配； 2.若采用手動匹配，將功率設到60W左右，手動調諧匹配合適時，再增加功率
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服務支持	一年有限保修，提供終身支持（保修范圍內不包括易耗部件，例如處理管和O形圈，請在下面的相關產品處訂購更換件。）